Das Polieren der Siliziumblockoberfläche steht in direktem Zusammenhang mit der Qualität des Siliziumwafer-Schneidens. Beim Polierprozess wird der Siliziumblock nacheinander durch eine grobe Schleifscheibe und eine feine Schleifscheibe poliert. Die Funktion der Grobschleifscheibe besteht darin, die beschädigte Schicht auf der Oberfläche des Siliziumblocks zu zerschneiden; Die Funktion der Feinschleifscheibe besteht darin, die Spuren der beschädigten Schicht und des groben Sandes auf der Oberfläche des Siliziumblocks zu polieren und zu entfernen.
1. Aktueller Status
Die Werkstatt für monokristalline Siliziumwafer eröffnet eine Maschine zur Beschleunigung des Laserschneidens. Wenn der Bediener während der eigentlichen Arbeit etwas nachlässig ist, ist die Qualität des Laserschneidens des Siliziumblocks schlecht. Die Hauptpunkte sind: Es gibt Sägespuren auf der Oberfläche des lasergeschnittenen Siliziumblocks; die Größe des Siliziumblocks „wölbt“ sich in der Mitte; Durch die Trennung wird die Form des lokalen Siliziumblocks verbogen. Derzeit kann die Bürstenschleifscheibe in der Werkstatt die beim Laserschneiden entstandenen Sägespuren nicht mehr vollständig entfernen; Beim Silikonblock mit dem „ausgewölbten Bauch“ kann die große Größe in der Mitte aufgrund der begrenzten Polierfähigkeit der Bürstenschleifscheibe nicht entfernt werden. Derzeit besteht ein dringender Bedarf an einer Schleifscheibe mit stärkerer Schleiffähigkeit.
2. Strategie umsetzen
Das Hauptprinzip der derzeit in der Werkstatt verwendeten Poliermaschine besteht darin, die Oberfläche des Siliziumblocks durch eine grobe Schleifscheibe und eine feine Schleifscheibe zu polieren. Derzeit wird die Grobschleifscheibe der Poliermaschine durch eine Diamantschleifscheibe ersetzt, und die Feinschleifscheibe verwendet eine Bürstenschleifscheibe zum Polieren des Siliziumblocks.
Das Experiment verwendet eine diamantharzgebundene Schleifscheibe. Zum Schleifen können alle natürlichen künstlichen Diamanten verwendet werden. Diamant ist eine extrem starke Form von Kohlenstoff. Es ist amphiphil gegenüber Eisen und verursacht schnelle Schäden. Der Haftvermittler ist Epoxidharz. Typ Bindemittel hat eine gewisse dämpfende Wirkung auf Vibrationen, die durch Reibung im Leben entstehen. Mit der starken Schleifleistung der Diamantschleifscheibe können einige durch die Schneidemaschine verursachte Oberflächenprobleme des Siliziumblocks beseitigt werden, wie zum Beispiel: Es gibt Sägespuren auf der Oberfläche des vom Laser geschnittenen Siliziumblocks; die Größe des Siliziumblocks „wölbt“ sich in der Mitte; Gute Ergebnisse können erzielt werden, indem die durch den Bruch verursachte Form des lokalen Siliziumblocks gebogen, eine Grundpolitur durchgeführt und anschließend die Oberfläche des Siliziumblocks mit einer Feinschleifscheibe verbessert wird.
