Verwendung der kathodischen Lichtbogenplasma-Abscheidungstechnologie. Die kathodische Lichtbogenplasmaabscheidung ist eine relativ neue Dünnschichtabscheidungstechnologie, die in vielerlei Hinsicht der Ionenplattierung ähnelt. Seine Vorteile: hohe Ionisierungsrate im emittierten Partikelstrom und diese ionisierten Ionen haben eine hohe kinetische Energie (40-100eV).
Viele der Vorteile der Ionenstrahlabscheidung, wie verbesserte Haftung, erhöhte Zustandsdichte und hohe Reaktivität gegenüber der Bildung von Verbindungsfilmen, spiegeln sich alle in der kathodischen Lichtbogenplasmaabscheidung wider. Die Plasmaabscheidung mit kathodischem Lichtbogen hat ihre eigenen einzigartigen Vorteile, wie z. B. die Möglichkeit, auf komplexer geformten Substraten abzuscheiden, mit hoher Abscheidungsrate, guter Gleichmäßigkeit der Beschichtung, niedriger Substrattemperatur und einfacher Herstellung von Verbindungen oder Legierungen mit idealen chemischen Verhältnissen. .
Das Kathodenmaterial wird durch den Verdampfungsprozess aufgrund der hohen Stromdichte verdampft, und die resultierende Verdampfung besteht aus Elektronen, Ionen, zentralen Gasphasenatomen und Partikeln. Am Kathodenbogenpunkt wird das Material fast sofort ionisiert. Die Ionen werden nahezu senkrecht zur Kathodenoberfläche emittiert. Wenn die hochenergetischen Chromionen auf den Stickstoff treffen, reagieren sie sofort chemisch und werden gasförmig. Chromnitrid-Moleküle.
